公司主要是做高纯工艺系统与半导体湿法清理洗涤设施，覆盖中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源，业绩持续迅速增加。 1）收入端： 2015-2021 年营业收入 CAGR为 47%， 2021 年达到 20.84 亿元，同比+49%。 2020 年以来半导体清理洗涤设施快速放量，2021-2022H1 分别实现收入 7.01 和 4.66 亿元，分别同比+222%和+73%， 2022H1 收入占比达到 42%，成为收入端增长重要驱动力。 2）利润端： 2015-2021 年归母净利润 CAGR达到 59%，高于收入端。 2022H1 为 0.81 亿元，同比-46%，主要系非经常性损益影响，2022H1 扣非归母净利润达到 0.97 亿元，同比+128%，大幅度的提高。 2022H1 公司新增订单 23.62 亿元，同比+37%，其中半导体制程设备新增订单 8.06 亿元，充足订单支撑下， 2022 年业绩有望延续快速增长。

  晶圆产能东移背景下，仅华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫四家晶圆厂未来合计扩产产能将过 100 万片/月，本土半导体设备行业景气度有望延续。 1）受益于晶圆产能东移，我们判断 2021 和 2023 年中国大陆半导体清理洗涤设施市场规模分别为15 和 21 亿美元，其中单片清理洗涤设施需求约 10.0 和 14.3 亿美元。 2）全球清理洗涤设施市场仍由日企主导，盛美、至纯等已实现国产替代突破，我们预估 2019-2021 年公司在本土市场占有率分别为 2%、 4%、 7%，正在快速提升。 据 2021 年年报披露， 公司半导体清理洗涤设施已在 28 纳米节点获得全部工艺的设备订单，在 14 纳米以下制程也拿到 4 台湿法设备订单。 2022 年公司半导体制程设备新签订单目标 20 亿元，同比+50%以上，同时单片式清理洗涤设施占比快速提升，国产替代驱动下，有望延续快速发展。

  1）晶圆再生： 我们预计 2026 年中国大陆市场规模可达 19 亿元（仅考虑 12 英寸），全球晶圆再生产能高度集中于日本和中国台湾，公司领域布局较早，合肥一期产能 7万片/月已经投产，是国内首条投产的 12 英寸晶圆再生产线 年达产；二期规划产能 14 万片/月，正在投资建设中，先发优势显著。 2） 大宗气体： 公司高纯工艺系统主业的纵向延伸，二者客户端协同性较强。公司正在投资建设半导体级的大宗气体工厂，为用户更好的提供至少 15 年的高纯大宗气体整厂供应。 3）零部件： 我们预估 2021年中国大陆半导体设备零部件市场规模约 117 亿美元。 2021 年公司可转债募投项目拟募集 11 亿元，重点加码半导体设备零部件研发&制造业务，在垂直整合降本的同时，将逐步打开后服务市场，同时有望单独外售，将成为后续发展重点。

  盈利预测与投资评级： 考虑到公司半导体清理洗涤设施快速放量，我们预计 2022-2024 年公司归母净利润分别为 3.81、 5.57 和 7.42 亿元，当前股价对应动态 PE 分别34、 24 和 18 倍，估值明显低于可比公司，维持“买入“评级。

  风险提示： 晶圆厂资本开支没有到达预期、 新品研发&客户验证进程没有到达预期等。