5月30日，山东联盛电子设备有限公司无尘出产车间内，工人在调试硅片晶圆清洗机。该公司坐落高唐经济开发区，是现在全省最大的湿制程设备制作商，是中芯世界、华润微电子等企业的供货商。

　　该公司的硅片清洗机制作项目是2023年全市重点项目，总投资1.1亿元。“公司自主研制出产的全自动晶圆腐蚀机打破了进口独占，并已获相关发明专利。”山东联盛电子设备有限公司工作室主任王如彬介绍，“这种全自动晶圆腐蚀机，不只摆臂速度快、效率高、稳定性很高，还下降了清洗过程中的人为污染，提高了晶圆的良品率。”

　　在芯片制作总工序中，清洗过程占比30%以上。半导体清洗技能可分为湿法和干法两种，湿法清洗是现在的干流技能道路，占芯片制作清洗过程数量的90%以上。跟着科学技能的渐渐的提高，晶圆整理洗刷设备将越来越趋向智能化开展，山东联盛电子设备有限公司现在已霸占12英寸晶圆单片刻蚀清洗核心部件技能。

　　“现在，公司年产能300多台，产量5300万元。下半年，公司将迁至高唐县创业示范园区，到时年产能将达500台，产量将超8000万元。”王如彬说。

　　本年3月31日，中关村高科技企业助力高唐高水平质量的开展恳谈会暨新一代信息技能工业招商推介会在高唐举办，12个项目现场签约。现在，高唐县着力施行新一代电子信息技能工业攀爬方案，瞄准工业数字化、数字工业化，大力推广应用新一代信息技能，加速培养新质出产力。

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