丝毫不受减持半导体龙头的影响，国家集成电路产业投资基金股份有限公司(简称“大基金”)二期马不停蹄地再次布局半导体领域。

  10月18日晚间，至纯科技（603690.SH）公告，公司控股子公司至微半导体 ( 上海 ) 有限公司 ( 简称“至微科技 ” ) 拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。

  根据公告，本次新引入的战略投资者共有8家，合计向至微科技增资4.2亿元。其中就包括大基金二期，其余增资方也均来头不小。

  10月19日，至纯科技方面回应媒体称，本次引入战投主要是以扩大湿法设备生产为主，目前的计划是5年200台。

  至纯科技有何过人之处，引来大基金二期的青睐？21世纪经济报道记者此前报道指出，大基金虽然时有减持计划流出，但并未整体退出半导体领域，而是做了结构性的调整，尤其是转移到上游急缺资金卡脖子的制造和代工、设备等领域。那么，大基金目前在后者的布局如何？

  根据公告，至微科技本次拟引入投资方包括：远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙），合计向至微科技增资4.2 亿元，其中7644万元计入注册资本，其余34356万元计入资本公积。

  本次增资前，至微科技注册资本为4.55亿元，估值25亿元（增值率485.36%），对应5.4945元/注册资本。增资后，至纯科技持有至微科技的股份由99.34%降至77.11%；大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡分别持有3.42%、3.42%、1.71%、1.03%、1.03%的股权。

  按上述比例测算，大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金的投资金额分别为1亿元、1亿元、5000万元、3000万元。

  其中，混改基金（中国国有企业混合所有制改革基金）是经国务院批准设立的“国家级”基金，基金总规模2000亿元，首期募集资金就达到707亿元。中芯聚源（中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙企业）的背后则有国资和中芯国际。装备材料基金（上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业）的股东也有国家大基金的身影，重点围绕集成电路装备材料产业开展投资。

  至纯科技为何能引来这么多明星资本的青睐？从其主营业务来看，正是国家大基金二期重点投资的半导体设备领域。

  公开资料显示，至纯科技主营业务包括高纯工艺系统、半导体湿法清理洗涤设施、光传感应用及相关光学元器件，而旗下至微科技的主业就是半导体湿法清洗设备。

  公司称，至微科技成立以来，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。此次引入战投，是为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力。

  上半年公开多个方面数据显示，至纯科技的半导体设备在迅速增加。上半年公司新增订单中半导体板块新增订单14.2 亿元，其中湿法设备新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的 85%，其中单片设备新增订单2亿元。

  安信证券电子行业分析师马良向记者指出，“此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金，表明了市场对公司未来发展前途的看好。通过此次增资，公司不仅增强了资金实力，还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作，公司半导体清理洗涤设施发展有望加速。”

  目前半导体设备本土生产上升到国家战略层面，半导体设备也被公认为最“卡脖子”的环节之一。

  就工艺而言，清洗是贯穿半导体产业链的重要工艺环节，每一代制程升级将带来平均15%的清洗步骤增长，重要性凸显。据台湾工研院数据，2020年半导体清理洗涤设施市场空间49亿美元，2025年将达67亿美元。当前全球清理洗涤设施市场由日韩巨头垄断，2018年，DNS、TEL、SEMES、Lam四家厂商占据了90%以上的市场份额。

  根据信达证券的研报，国内有至纯、北方华创、盛美、芯源微四家厂商重点布局，当前湿法清理洗涤设施国产化率约达20%。

  公告显示，至纯科技已具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清理洗涤设施和槽式湿法清理洗涤设施的有关技术，目前已能够给大家提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。

  作为半导体清理洗涤设施的重点厂商之一，至纯科技受到顶级产业基金的青睐也就不足为奇。

  21世纪经济报道记者梳理发现，就目前大基金二期的布局来看，已经重点向设备领域倾斜。

  据启信宝数据，除了至纯科技，目前大基金二期公开投资项目已有12个，包括：杭州长川智能制造公司、润西微电子（重庆）有限公司、中芯南方集成电路制造有限公司、思特威（上海）电子科技股份有限公司、珠海艾派克微电子有限公司、紫光展锐（上海）科技有限公司等。其中有4家和半导体设备相关，4家与晶圆制造相关。

  申港证券分析师曲一平此前向记者指出，大基金二期的投资同样覆盖了芯片设计、制造、封测、材料以及设备等产业链环节，但可看到目前仍较多投向了制造环节，更聚焦设备、材料领域，加大投资。

  目前，大基金二期对上述总投资已近300亿元，背后涉及的上市公司有长川科技、长鑫存储、中芯国际、纳斯达、华润微等。