喷淋式兆声波清洗以喷嘴的方式向被清洗物如晶圆运送带有高频超声波的清洗液，比较于槽式兆声波清洗，喷淋式兆声波清洗兆声转化功率愈加高，也可使晶圆外表取得的兆声能量场愈加均匀。

  兆声清洗振板便利用于槽式兆声清洗等批量处理晶圆的清洗体系，经过特别耦合技能将压电换能器与石英或宝石振动层准确匹配，以向处理槽中发射均匀高效的兆声波声场。

  贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式兆声清洗和喷淋式兆声清洗两种兆声清洗的长处并摒弃了二者缺陷的更优化的兆声清洗技能。它能够以相对大的面积将兆声声能均匀的传递到晶圆外表，有很高的传递功率和声场均匀性，一起十分节约清洗液。